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百级烘箱用途及特点

发布日期:2018-04-13

百级烘箱中桶材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
     百级烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
一.百级烘箱用途:
     百级烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。 
二.百级烘箱特点:
   1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
   2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
   3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
   4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到很好温度控制精度。 

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